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圧縮後のリッチアルゴンは、PSA-Ar段階で吸着状態にある吸着塔に流入し、CO2、N2、O2の一部などの不純物が吸着吸着され、未吸着のアルゴンが塔頂から製品として流出し、周波数99.99～99999のアルゴンが生成されます。 設置規模： 100~5000nm3/h。

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